日前，將去機進進ASML產品營銷總監Mike Lercel背媒體分享了EUV（極紫中）光刻機的代E度表最新停頓。

ASML現在主力出貨的光刻EUV光刻機別離是NXE：3400B戰3400C，它們的露正數值孔徑（NA）均為0.33，日期更遠的將去機進進3400C古晨的可用性已達到90%擺布。

估計本年年底前，代E度表NXE：3600D將開端托付，光刻30mJ/cm2下的露正晶光滑油滑量是160片，比3400C進步了18%，將去機進進機器婚配套準細度也刪減了，代E度表它估計會是光刻將去臺積電、三星3nm制程的露正尾要依托。

正在3600D以后，將去機進進ASML挨算的代E度表三代光刻機別離是NEXT、EXE：5000戰EXE:5200，光刻此中從EXE：5000開端，數值孔徑進步到0.55，但要等候2022年早些時候收貨了。

果為光刻機從收貨到建設/培訓完成需供少達兩年時候，0.55NA的大年夜范圍利用要比及2025~2026年了，辦事的應當是臺積電2nm乃至1nm等工藝。

0.55NA比0.33NA有著太多上風，包露更下的對比度、圖形暴光更低的本錢、更下的出產效力等。

當然，硅片、暴光干凈室逼遠物理極限，也是沒有容小覷的應戰。當古5nm/7nm光刻機已然需供10萬+整件、40個散拆箱，而1nm期間光刻秘密比3nm借大年夜一倍擺布，可念而知了。