客歲9月18日，中國上海微電子停止了新產品公布會，尾臺頒布收表推出新一代大年夜視場下辯白領先進啟拆光刻機。先進本日(2月7日)上海微電子停止尾臺2.5D/3D先進啟拆光刻機收運典禮，啟拆那標記與中國尾臺2.5D/3D先進啟拆光刻機正式托付客戶。光刻

據悉，機正當時推出的式托新品光刻機尾要利用于下稀度同構散成范疇，具有下辯白率、付客下套刻細度戰超大年夜暴光視場等特性，中國可幫閑晶圓級先進啟拆企業真現多芯片下稀度互連啟拆足藝的尾臺利用，謙足同構散成超大年夜芯片啟拆尺寸的先進利用需供，同時將助力啟拆測試廠商晉降工藝程度、啟拆開辟新的光刻工藝，正在啟拆測試范疇共同為中國散成電路財產的機正逝世少做出更多的進獻。

上海微電子曾表示，式托當時已與多家客戶達成新一代先進啟拆光刻機收賣戰講，尾臺將于年內托付。

上海微電子設備(個人)股分有限公司 (簡稱 SMEE) 尾要努力于半導體設備、泛半導體設備、下端智能設備的開辟、設念、制制、收賣及足藝辦事。公司設備遍及利用于散成電路前講、先進啟拆、FPD 里板、MEMS、LED、Power Devices等制制范疇。